Dezvoltarea plantelor de oxigen VPSA

În 1891, compania germană Linde a început să lucreze la lichefierea aerului în laboratorul companiei producătoare de mașini frigorifice.
În 1895, profesorul Linde a realizat primul dispozitiv de aer lichid folosind efectul Joule-Thomson.
În 1901, Linde a înființat o fabrică de producție de echipamente criogenice în München.
În 1902, echipamentul de separare a aerului pentru primul turn de rectificare cu o singură treaptă proiectat de Linde a fost finalizat. French Kraut a inventat mașina de expansiune și a înființat compania Air Liquefaction la Paris.
În 1903, Linde a realizat primul generator de oxigen industrial de 10 m3/h, utilizând un proces de reglare de înaltă presiune.
În 1910, Franța a realizat primul generator de oxigen de 50 m3/h folosind un proces de presiune medie cu o mașină de expansiune cu piston.
În 1920, Hyland, Germania, a inventat un proces de înaltă presiune pentru producerea de oxigen lichid cu o mașină de expansiune de înaltă presiune.
În 1924, Frankel a sugerat că în echipamentele mari de separare a aerului ar trebui folosite răcitoarele umplute cu metal în locul schimbătoarelor de căldură obișnuite.
În 1926, Frankel a propus forma comună acumulator la rece.
În 1930, Linde a realizat prima unitate Linde Frankel la scară industrială, cu o putere de 255 m3/h și o puritate de 99,5% O2.
În 1932, turboexpansorul a fost folosit pentru prima dată pe unitatea Linde-Frankel. Oxigenul a fost folosit pentru prima dată în metalurgie și sinteza amoniacului în Germania.
În 1939, Uniunea Sovietică a creat un turboexpansor de înaltă eficiență și a început să studieze echipamentul complet de separare a aerului de joasă presiune.
În 1947, Linde s-a dedicat echipamentelor industriale de producere a oxigenului cu presiune inferioară completă. Uniunea Sovietică a început să proiecteze mari instalații industriale de oxigen cu procese complete de joasă presiune.
În 1949, Statele Unite ale Americii pentru prima dată în 29000m3/h generator de oxigen la aplicarea schimbătorului de căldură deformare plăci.
În 1952, Austria a folosit pentru prima dată un convertor de oxigen pur pentru a face oțel, ceea ce a determinat o creștere bruscă a oxigenului metalurgic.
În 1955, Statele Unite au dezvoltat viguros rachete și au consumat o cantitate mare de oxigen lichid ca accelerant.
În 1957, a fost realizat primul generator de oxigen de 120 de tone/zi funcționat automat.
În 1960, Japonia a finalizat 10000m3/h99,6% O2 și 10000m3/h99,99% N2 echipament dublu de înaltă puritate la scară largă complet de joasă tensiune.
În 1972, Franța a realizat cea mai mare capacitate din lume de echipamente de separare a aerului cu oxigen pur: 1700 tone/zi O2 și 1500 tone/zi N2.
Unitățile mai mari sunt încă în studiu.